-
1 выращивание плёнок методом магнетронной мишени
Русско-английский физический словарь > выращивание плёнок методом магнетронной мишени
-
2 выращивание плёнок методом магнетронной мишени
Универсальный русско-английский словарь > выращивание плёнок методом магнетронной мишени
См. также в других словарях:
Sputter deposition — is a physical vapor deposition (PVD) method of depositing thin films by sputtering, that is ejecting, material from a target, that is source, which then deposits onto a substrate, such as a silicon wafer. Resputtering is re emission of the… … Wikipedia
Pulsed laser deposition — (PLD) is a thin film deposition (specifically a physical vapor deposition, PVD) technique where a high power pulsed laser beam is focused inside a vacuum chamber to strike a target of the desired composition. Material is then vaporized from the… … Wikipedia